| Resumenes Vol. 38 No.4 de 2006 |
|
|
CRECIMIENTO DE PELÍCULAS DE PLATINO SOBRE TITANIO MEDIANTE PULVERIZACIÓN CATÓDICA CON MAGNETRON DC |
Norma Hoyos., Rafael Bolívar., J. E. Alfonso
|
En este trabajo se presentan los resultados obtenidos en el crecimiento de películas de Pt , con espesores entre 5 y 9 µm, sobre titanio, usando la técnica de pulverización catódica con magnetrón dc. Las condiciones de depósito en las que se obtuvieron las películas fueron: Presión final de trabajo 5x10 -2 mbar, distancia blanco sustrato 5 cm , flujo de Ar 20 sccm, tiempos de depósito de 30 minutos y se varió la potencia entre 50 y 200W. Las películas de Pt se caracterizaron mediante las técnicas de espectroscopia dispersiva de rayos X (EDX), difracción de rayos X (DRX) y se les evaluó la adherencia mediante el método Daimler Benz.
Palabras claves: Magnetrón sputtering, Corrosión Elecrtolítica |
In this work, we report the growth of Pt films, with thicknesses between 5 and 9 µm, onto titanium, using dc magnetron sputtering. The films of Pt were characterized by means of the techniques of dispersive X-ray analysis (EDX), X-ray diffraction (XRD) and the adhesion by means of the method Daimler Benz was evaluated to them.
|
| keywords:
Magnetron sputtering, electrolitic corrosion. |
|
|