Resumenes Vol. 38 No.4 de 2006
 

CRECIMIENTO DE PELÍCULAS DE PLATINO SOBRE TITANIO MEDIANTE PULVERIZACIÓN CATÓDICA CON MAGNETRON DC

Norma Hoyos., Rafael Bolívar., J. E. Alfonso

Resumen

En este trabajo se presentan los resultados obtenidos en el crecimiento de películas de Pt , con espesores entre 5 y 9 µm, sobre titanio, usando la técnica de pulverización catódica con magnetrón dc. Las condiciones de depósito en las que se obtuvieron las películas fueron: Presión final de trabajo 5x10 -2 mbar, distancia blanco sustrato 5 cm , flujo de Ar 20 sccm, tiempos de depósito de 30 minutos y se varió la potencia entre 50 y 200W. Las películas de Pt se caracterizaron mediante las técnicas de espectroscopia dispersiva de rayos X (EDX), difracción de rayos X (DRX) y se les evaluó la adherencia mediante el método Daimler Benz.

Palabras claves: Magnetrón sputtering, Corrosión Elecrtolítica


Abstract

In this work, we report the growth of Pt films, with thicknesses between 5 and 9 µm, onto titanium, using dc magnetron sputtering. The films of Pt were characterized by means of the techniques of dispersive X-ray analysis (EDX), X-ray diffraction (XRD) and the adhesion by means of the method Daimler Benz was evaluated to them.

 

keywords: Magnetron sputtering, electrolitic corrosion.
Formatos Disponibles: Pdf