Se implementó una metodología para medir nanodureza y módulo de Young de superficies de recubrimientos duros, utilizando un sistema de Microscopia de Barrido por sonda (SPM) el cual trabaja con la interacción entre la punta y muestra. El desarrollo de dicha metodología se fundamentó en el trabajo con el SPM en la técnica de Microscopia de Fuerza Atómica (AFM) en el modo de espectroscopía de fuerzas. Se crecieron capas de TiN en dos sistemas PAPVD variando distintos parámetros del proceso. Se compararon los datos obtenidos por el sistema de nanodurómetro comercial y los obtenidos por medio de la técnica AFM. El análisis de los datos proporcionados por esta técnica se fundamentó en el modelo de Oliver y Pharr. Se determinaron las propiedades elasto-plásticas de recubrimientos duros de capa fina de TiN permitiendo comparar los resultados obtenidos por los dos sistemas de medida de nanodureza.

Palabras claves: nitruro de titanio, PAPVD, nanocaracterización mecánica, Young, SPM, AFM.