En este trabajo se han crecido películas delgadas de Ti6Al4V mediante la técnica de pulverización catódica magnetrón rf, sobre acero 316L y se les ha sometido a un tratamiento posterior de nitruración por plasma, en función del tiempo, para establecer si existen cambios en las propiedades mecánicas por la incorporación del nitrógeno a la red cristalina de la película. Las condiciones utilizadas para crecer las películas fueron: Presión 7x10 -3 mbar, tiempo de 1 hora y potencia 400 W. Las películas se nitruraron a una diferencia de potencial de 500 V, a una presión de 3 torr. Los resultados de EDX revelan que la película esta compuesta en promedio de 78.3% Wt de Ti, 6. % Wt de Al, 12.0% Wt de V y 2.1% Wt de N. Por otra parte, los resultados de DRX muestran que la película crece a lo largo del plano (110) de la fase b (Ti estabilizado con V) de la aleación. Finalmente, las pruebas mecánicas realizadas sobre las películas nitruradas indican que la microdureza aumenta ligeramente.

Palabras clave: Nitruración, EDXS, SEM, Microdureza.

In this work thin films of Ti6Al4V have been grown by rf magnetron sputtering, on steel 316L and they have been subjected to a later treatment of nitrurated by plasma, in function of the time, to settle down if changes exist in the mechanical properties for the incorporation from the nitrogen to the crystalline lattice of the film. The conditions used to grow these films were: Pressure 7x10 -3 mbar, time of 1 hour and with a power 400 W. The films were nitrurated to a difference of potential of 500 V, to a pressure of 3 torr. The results of EDX reveal that the films this compound on the average of 78.3% Wt of Ti, 6.% Wt of Al, 12.0% Wt of V and 2.1 Wt % N. On the other hand, the results of DRX show that the film grows along the plane (110) of the b phase (Ti stabilized with V) of the alloy. Finally, the mechanical tests carried out on the films nitrurated indicate that the microhardness increases lightly.

Keywords: Nitruration, EDXS, SEM, Micro-Hardness.