Con el fin de mejorar las propiedades mecánicas y tribológicas de los recubrimientos multicapa de Zr/ZrN frente a los recubrimientos monocapa de ZrN y lograr una mayor eficiencia de estos recubrimientos en las diferentes aplicaciones industriales, se investigaron sus características microestructurales, morfológicas, mecánicas y tribologícas en función del número de bicapas y del periodo de las mismas, manteniendo un espesor constante de 4 micras. Las técnicas de caracterización utilizadas fueron: la Microscopia electrónica de barrido (SEM), Espectroscopia de energía dispersiva de rayos X (EDX), Espectroscopia de difracción de rayos X (XRD) y medidas de rayado y micro indentación. Los recubrimientos, con un número de bicapas entre 1 y 12, fueron depositados sobre substratos de Silicio (Si) con orientación (100). Una comparación entre las propiedades de la monocapa de ZrN y las multicapas de ZrN/Zr revelaron una mayor dureza y adherencia en los recubrimientos de 12 bicapas.

Palabras Claves: Multicapas de Zr / ZrN, Recubrimientos Duros, Pulverización catódica.

In order to improve the mechanical and tribological properties of alternated Zr/ZrN multilayer hard coating, compared with the ZrN monolayer, for different industrial applications, their microstructural, morphologic, mechanical, and tribological characteristics were investigated as function of bilayers number and period, by constant total thickness of 4 m m. The used characterization methodes were the Scanning Electron Microscopy (SEM), Secondary Ion Mass Spectroscopy (SIMS), Energy-Dispersive X-ray Spectroscopy (EDX), X-Ray Diffraction (XRD), Scratch and micro-indentation measurements. The coatings, with bilayers number between 1 and 12, were deposited onto Si substrates with (100) orientation. A higher hardness and adhesion for the 12–bilayer Zr/ZrN coating system were obtained, compared to the ZrN monolayer.

Keywords: Zr / ZrN multilayers, hard coatings, Magnetron sputtering