| Resumenes
Vol. 37 No.1 de 2005 |
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CURVAS CARACTERISTÍCAS I-V EN CONDESADORES FERROELECTRICOS DE PZT |
A. Cortes, E. Delgado, W. Lopera, y P. Prieto |
Se realizaron medidas de curvas características
de corriente-voltaje ( I-V ) a diferentes temperaturas
en condensadores ferroeléctricos basados en películas
delgadas de Pb(Zr 0.52 Ti 0.48 )O 3 (PZT) con electrodos
inferiores de SrRuO3 (SRO) y electrodos superiores de platino
(Pt). Los electrodos de SRO se depositaron sobre substratos
de SrTiO 3 (100) utilizando la técnica Sputtering
DC a alta presión de oxigeno. La película
de PZT fue crecida utilizando la técnica de magnetrón
sputtering RF en oxígeno puro. Las medidas de histéresis
P-E de condensadores de diferentes áreas, de 5.0
x10-4 cm2 a 6.5x10-3 cm2
y con un espesor de 40 nm, mostraron un claro comportamiento
histerético con polarización remanente alrededor
de 30 mC/cm2 a temperatura ambiente.
A partir de las curvas I-V se obtuvo medidas de
conductancia, las cuales mostraron una dependencia parabólica
respecto al voltaje de polarización indicando tunelamiento
electrónico.
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We have realized measurements of characteristic curves
of current-voltage ( I-V ) at different temperatures
on ferroelectric capacitors based on Pb(Zr 0.52 Ti 0.48
)O 3 (PZT) thin films with lower electrodes of SrRuO 3 (SRO)
and upper electrodes of platinum (Pt). The SRO electrodes
were deposited on (100) SrTiO 3 substrates by a dc-sputtering
technique at high oxygen pressures. For PZT film growth
we have used an rf-magnetron sputtering technique in pure
oxygen. The P-E hysteresis curves of capacitors at different
areas, from 5.0 x10-4 cm2 to 6.5x10-3
cm2 and with a thickness of 40 nm, showed a clear
hysteretic behavior with remanent polarization around of
30 mC/cm2 at room
temperature. From the I-V curves we have calculated
the conductance, which have showed a parabolic dependence
with the polarization voltage indicating electronic tunneling.
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